Épreuve finale sous vide
Objectifs:Pour mesurer la pression la plus basse qu'une pompe à vide peut atteindre en l'absence de charge (déconnectée du système de traitement) après un fonctionnement prolongé.Ceci est un indicateur de base de la capacité de pompage de la pompe.
Méthode:Fermez l'entrée de la pompe, démarrez-la et laissez-la fonctionner en continu (par exemple, pendant 2 heures).
Données typiques:Le vide ultime varie considérablement entre les différents types de pompes à vide.tandis que la plage de vide ultime idéale pour les pompes à vide à vis est généralement comprise entre 1 × 10−2 Pa et 1 × 10−3 Pa.
Essai de vitesse de pompage
Objectifs:Pour mesurer le volume de gaz aspiré dans l'entrée de la pompe par unité de temps à une pression spécifique, reflétant l'efficacité opérationnelle de la pompe.
Méthode:Connectez une chambre à vide standard de volume connu. Mesurez le temps nécessaire pour pomper de la pression atmosphérique à une pression cible spécifique (par exemple, 5×10−2 mbar),puis calculer la vitesse de pompage moyenne.
Données typiques:La vitesse de pompage est généralement exprimée en L/s ou en m3/h. Par exemple, si un modèle de pompe a une vitesse de pompage nominale de 50 m3/h,l'exigence d'essai peut spécifier que le temps de pompage de la pression atmosphérique à la pression cible ne doit pas dépasser 15 minutes, avec un écart de vitesse de pompage inférieur ou égal à ± 5%.
Essai de débit de fuite
Objectifs:Inspecter les performances d'étanchéité du corps de la pompe et de ses connexions, en veillant à ce qu'il n'y ait pas de fuites évidentes pour garantir la stabilité du vide final.
Méthode:En règle générale, un détecteur de fuite de spectromètre de masse à hélium très sensible est utilisé pour inspecter l'ensemble de la pompe (par exemple, les zones d'étanchéité telles que l'extrémité de l'arbre, les bouchons d'extrémité et les brides).
Données typiques:Pour les pompes à vide hautes performances, l'exigence de débit global est extrêmement stricte; par exemple, il doit être inférieur à 5 × 10−8 Pa·m3/s.
Test de stabilité
Objectifs:Évaluer la capacité de la pompe à vide à maintenir un niveau de vide spécifique en fonctionnement continu ou dans des conditions de travail simulées.
Méthode:Faire fonctionner la pompe en continu pendant une période prolongée (par exemple, 4 heures ou 168 heures) à une pression spécifique et surveiller la plage de fluctuation du niveau de vide.
Données typiques:La fluctuation du niveau de vide doit être minimale, par exemple, lorsque le véhicule fonctionne en continu à une pression de 5 × 10−2 mbar pendant 4 heures, la fluctuation du niveau de vide ne doit pas dépasser ± 1 × 10−3 mbar.